清晨的阳光透过窗帘缝隙洒进房间。
李昊早已洗漱完毕,站在穿衣镜前整理着西装领带。
今天是全球招商大会的日子,也是昊天科技正式登上世界舞台的关键时刻。
“咚咚咚——“敲门声响起。
“李总,校领导们都到微电子实验楼了。“杨妍的声音从门外传来,“郑校长说想先看看那台EUV光刻机。“
李昊打开门,看到杨妍今天穿了一身剪裁得体的藏青色职业套装,头发利落地盘起,整个人散发着干练优雅的气质。
“你今天很漂亮。“李昊由衷地赞叹道。
杨妍脸上浮现一抹红晕,但很快恢复专业态度:“别贫了,快走吧。周教授说光刻机已经完成最后调试了。“
两人快步走向微电子实验楼。
一路上,校园里随处可见穿着制服的安保人员和忙碌的工作人员。
浙大为了这次全球招商大会,几乎调动了全校资源。
实验楼前,郑校长、赵主任等一众校领导正围着周教授交谈。
看到李昊走来,郑校长立刻迎上前:“李昊啊,听说你们把那个什么。。。EUV光刻机调试好了?“
“是的,郑校长。“李昊点头,“正好带各位领导参观一下。“
进入实验楼,穿过三道气闸门,众人来到了专门为EUV光刻机改造的千级洁净室。
透过观察窗,一台银白色的庞然大物静静矗立在中央,周身散发着冷冽的金属光泽。
“这就是EUV光刻机?“赵主任推了推眼镜,声音不自觉地压低,“比我想象的还要大。。。“
周教授骄傲地介绍道:“整机重180吨,由十万多个精密零件组成。这台机器最核心的部分是它的极紫外光源系统——“
他指向机器顶部那个圆筒状结构:“这里能产生波长仅13。5纳米的极紫外光,比传统深紫外光刻机使用的193纳米波长缩短了十几倍。“
“这意味着什么?“郑校长好奇地问。
“意味着我们能制造出更小、更精密的芯片。“李昊接过话头,“传统光刻机最多能做到65纳米制程,而这台EUV可以轻松实现5纳米。“
他示意技术人员启动演示模式。
随着低沉的嗡鸣声,光刻机内部的精密部件开始运转。监控屏幕上显示出复杂的光路图和实时参数。
“现在展示的是晶圆对准流程。“李昊指着内部机械臂的动作,“这台机器的对准精度达到0。1纳米,相当于把一个原子劈成十份那么精确。“
校领导们发出阵阵惊叹。
郑校长凑近观察窗,眼睛一眨不眨地盯着机器内部精密的运动:“太不可思议了。。。这绝对是工程学上的奇迹!“
“更不可思议的是它的产能。“李昊继续介绍,“每小时可以处理200片12英寸晶圆,每片晶圆能切割出上千颗芯片。“
财务处的王处长迅速心算:“那岂不是说。。。这一台机器一年就能生产。。。“
“价值超过300亿的芯片。“李昊微笑着给出答案。
洁净室内陷入短暂的寂静。这个数字远超所有人的想象。